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³ª³ë°øÁ¤½Ç¿¡¼­´Â ÁõÂø ¹× ¿¡Äª ½Ã½ºÅÛ, ÀμâÀüÀÚ ½Ã½ºÅÛ, Lithography, ÃøÁ¤½Ã½ºÅÛ, ½ÃÆí󸮽ýºÅÛ µî ÃÑ 60¿©Á¾ÀÇ ÃÖ÷´Ü Àåºñ¸¦ °®Ãß°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¾ÕÀ¸·Î ±Û·Î¹úÀ¶ÇÕ±â¼ú¿ø ³ª³ë°øÁ¤½Ç¿¡¼­ Á¦°øÇØ µå¸± ÃÖ÷´Ü Àåºñ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¼­ºñ½º¸¦ º¸´Ù ¸¹Àº ºÐµéÀÌ ¼Õ½±°í ÃæºÐÈ÷ Ȱ¿ëÇÒ ¼ö Àֱ⸦ ±â´ëÇÕ´Ï´Ù. °¨»çÇÕ´Ï´Ù.

ÁõÂø ¹× ¿¡Äª

Àåºñ¸í ÇöóÁ°¡¼ÓÈ­Çбâ»ó ÁõÂø±â (PE-CVD)

¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ (SCS-5000)

ÁõÂø ¹× ¿¡Äª

Àåºñ¸í Àú¾ÐÈ­ÇÐÁõÂø±â (LP-CVD System)

¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ (LCS-5000)

ÁõÂø ¹× ¿¡Äª

Àåºñ¸í DC/RF ½ºÆÛÅÍ ½Ã½ºÅÛ

¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ (RSP-5004)

ÁõÂø ¹× ¿¡Äª

Àåºñ¸í ¿­/ÀüÀÚºö ÁõÂø±â ½Ã½ºÅÛ (Thermal/Electron Beam Evaporator)

¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ (MEP-5000)

ÁõÂø ¹× ¿¡Äª

Àåºñ¸í ÆÞ½º·¹ÀÌÀúÁõÂø½Ã½ºÅÛ

¸ðµ¨¸í ÄÚ¸®¾Æ¹ÙŨÅ×Å© (KVP-2000)

ÁõÂø ¹× ¿¡Äª

Àåºñ¸í °íÁÖÆÄÇöóÁ¹ÝÀÀ¼ºÀ̿½İ¢ÀåÄ¡ (ICP-RIE System)

¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ (IPS-5000)

ÁõÂø ¹× ¿¡Äª

Àåºñ¸í ±Þ¼Ó¿­Ã³¸®ÀåÄ¡ (Rapid Thermal Annealing)

¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ (RTP-5000)

ÁõÂø ¹× ¿¡Äª

Àåºñ¸í ´Ù±â´ÉÇöóÁ󸮽ýºÅÛ (Advanced Plasma System)

¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ (ARS-5000)

ÁõÂø ¹× ¿¡Äª

Àåºñ¸í MOCVD

¸ðµ¨¸í MOCVD

ÁõÂø ¹× ¿¡Äª

Àåºñ¸í Atomic <x-layer Deposition System

¸ðµ¨¸í ¾ÆÀÌÀÌ¿¡½º (SAVER-IMP)

ÀμâÀüÀÚ

Àåºñ¸í Rench Top R2R System

¸ðµ¨¸í ¾ÆÀÌÀÌ¿¡½º (SAVER-IMP)

ÀμâÀüÀÚ

Àåºñ¸í Inkjet Circuit Printer

¸ðµ¨¸í Dimatix (DMP-2831)

ÀμâÀüÀÚ

Àåºñ¸í ELECTROSPRAY

¸ðµ¨¸í ³ª³ë¿£¾¾ (ESR200R2D)

±âŸ

Àåºñ¸í ¸¶ÀÌÅ©·Î¿þÀ̺êÇÕ¼ºÀåÄ¡

¸ðµ¨¸í ¿µÀΰúÇÐ (927060)

±âŸ

Àåºñ¸í Æ©ºêÇüÀü±â·Î

¸ðµ¨¸í ´ëÈï°úÇÐ (DTF-60300-12PTFS)

±âŸ

Àåºñ¸í ¾Ð·Â¿ë±â 4´ë

¸ðµ¨¸í ÀϽſÀÅäŬ·¹À̺ê (150ml Pressure Vessel)

±âŸ

Àåºñ¸í MINI VESSEL (High Pressure High Temperature Vessel)

¸ðµ¨¸í ÀϽſÀÅäŬ·¹À̺ê (BOLT CLOSURE TYPE)

±âŸ

Àåºñ¸í ÇÁ¸®Ã÷À¯¼ºÇüº¼¹Ð

¸ðµ¨¸í Ÿí°úÇÐ (PULVERISETTE6¿Ü)

±âŸ

Àåºñ¸í ³ª³ëºÐ»ê±â (NANO DISPERSER)

¸ðµ¨¸í ÀϽſÀÅäŬ·¹À̺ê (ISA-N-30A)

±âŸ

Àåºñ¸í ºÐ¼®¿ëÀú¿ï (XP Analytical Balances)

¸ðµ¨¸í BKÅ×Å©³î¸®Áö (XP105DR)

±âŸ

Àåºñ¸í Ãʼø¼öÁ¦Á¶ÀåÄ¡ (D.I. Water Purification)

¸ðµ¨¸í ¿µÈ­°úÇÐ

±âŸ

Àåºñ¸í DISPENSER (³ª³ëºÐ»ê±â)

¸ðµ¨¸í ¾ÆÀ̳ؼ­½º (730700¿Ü)

±âŸ

Àåºñ¸í ¿ÀÅäŬ·¹À̺ê

¸ðµ¨¸í ÀϽſÀÅäŬ·¹À̺ê (ISA-OAC-SS-300-20)

±âŸ

Àåºñ¸í HEATING MANTLE

¸ðµ¨¸í µ¿¼­°úÇÐ (MS-DMS634)

Lithography

Àåºñ¸í ¸¶½ºÅ©¸®½ºÆÐÅʹ׽ýºÅÛ

¸ðµ¨¸í Nano Sys. Solutions (D-LIGHT DL-1000)

Lithography

Àåºñ¸í UV CROSSLINKER

¸ðµ¨¸í ÇÁ·ÎŸÁ¨ (BLX365)

Lithography

Àåºñ¸í ¸¶½ºÅ©¾ó¶óÀ̳Ê

¸ðµ¨¸í ¸¶ÀÌ´Ù½º½Ã½ºÅÛ (MDA-60MS)

Lithography

Àåºñ¸í Ashing System

¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ

Lithography

Àåºñ¸í ¼öÁ¶Èĵå (Water Sink Hood)

¸ðµ¨¸í »ïÈï±â°è°ø»ç (CT-FH1800)

ÃøÁ¤

Àåºñ¸í ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ (Mini-SEM)

¸ðµ¨¸í ÄÚ¼À (CX-200TA¿Ü)

ÃøÁ¤

Àåºñ¸í ÀÚµ¿Ç¥¸éÀû ¹× °¡°øºÐ¼®±â (BET)

¸ðµ¨¸í Çѱ¹¿¡ÀÌÆ¼¾ÆÀÌ (AUTOSORB-IQ-MP)

ÃøÁ¤

Àåºñ¸í Àü±âÈ­Çкм®½Ã½ºÅÛ

¸ðµ¨¸í ¿¡ÀÌÆ¼ÇÁ·ÐƼ¾î (VMC-4)

ÃøÁ¤

Àåºñ¸í PH/ORP ÃøÁ¤±â

¸ðµ¨¸í µ¿¼­°úÇÐ (CYBERSCAN PH1500)

ÃøÁ¤

Àåºñ¸í ALPHA-STEP

¸ðµ¨¸í KLA TEC (D-100)

ÃøÁ¤

Àåºñ¸í Picoammeter

¸ðµ¨¸í Picoammeter

ÃøÁ¤

Àåºñ¸í NanoVoltmeter

¸ðµ¨¸í NanoVoltmeter

½ÃÆíó¸®

Àåºñ¸í À̱¸ÀÚµ¿¿¬¸¶±â (Twin Auto Polisher)

¸ðµ¨¸í R&B

½ÃÆíó¸®

Àåºñ¸í Vacuum Oven

¸ðµ¨¸í ´ëÈï°úÇÐ (DVO-64-N)

½ÃÆíó¸®

Àåºñ¸í ¾Æ³¯·Î±×ÃÊÀ½ÆÄ¼¼Ã´±â

¸ðµ¨¸í ´ëÇÑÀÌÈ­ÇÐ (WUC-A03H)

½ÃÆíó¸®

Àåºñ¸í Á¤¹ÐÇ׿¼öÁ¶

¸ðµ¨¸í ´ëÇÑÀÌÈ­ÇÐ (WB-22)

½ÃÆíó¸®

Àåºñ¸í Drying Oven

¸ðµ¨¸í ¼¼Á¾Ç÷¯½º (125L)

½ÃÆíó¸®

Àåºñ¸í ¿ø½ÉºÐ¸®±â

¸ðµ¨¸í ºñÀü·¦»çÀ̾𽺠(MEGA17R)

½ÃÆíó¸®

Àåºñ¸í ±Û·Îºê¹Ú½º

¸ðµ¨¸í °í·Á±â¿¬ (KK-021-AS)

½ÃÆíó¸®

Àåºñ¸í ´ë±â¾ÐÇöóÁ¹ß»ýÀåÄ¡

¸ðµ¨¸í ÆèÅä»çÀ̾𽺠(PLAMI-ALPHA)

½ÃÆíó¸®

Àåºñ¸í Ultrasonic Cleaner

¸ðµ¨¸í ´ëÀÏÅ×Å©

½ÃÆíó¸®

Àåºñ¸í ¾×»óÈ­ÇÐÀÛ¾÷´ë (WET STATION)

¸ðµ¨¸í ¾¾¿£¿¡½º¿£Áö´Ï¾î¸µ (CSWT-M61)

½ÃÆíó¸®

Àåºñ¸í ¼öÁ¶Èĵå (Water Sink Hood)

¸ðµ¨¸í »ïÈï±â°è°ø»ç (CT-FH1800)

½ÃÆíó¸®

Àåºñ¸í Hot Plate & Stirrer 4´ë

¸ðµ¨¸í µ¿¼­°úÇÐ (MSH-30D)

½ÃÆíó¸®

Àåºñ¸í PELCO VACUUM PICK-UP SYSTEM

¸ðµ¨¸í ÇÁ·ÎŸÁ¨ (5201220)

½ÃÆíó¸®

Àåºñ¸í VACUUM DESSICATOR

¸ðµ¨¸í ÇÁ·ÎŸÁ¨ (DC1030210)