³ª³ë°øÁ¤½Ç¿¡¼´Â ÁõÂø ¹× ¿¡Äª ½Ã½ºÅÛ, ÀμâÀüÀÚ ½Ã½ºÅÛ, Lithography, ÃøÁ¤½Ã½ºÅÛ, ½ÃÆí󸮽ýºÅÛ µî ÃÑ 60¿©Á¾ÀÇ ÃÖ÷´Ü Àåºñ¸¦ °®Ãß°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¾ÕÀ¸·Î ±Û·Î¹úÀ¶ÇÕ±â¼ú¿ø ³ª³ë°øÁ¤½Ç¿¡¼ Á¦°øÇØ µå¸± ÃÖ÷´Ü Àåºñ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¼ºñ½º¸¦ º¸´Ù ¸¹Àº ºÐµéÀÌ ¼Õ½±°í ÃæºÐÈ÷ Ȱ¿ëÇÒ ¼ö Àֱ⸦ ±â´ëÇÕ´Ï´Ù. °¨»çÇÕ´Ï´Ù.
ÁõÂø ¹× ¿¡Äª
Àåºñ¸í ÇöóÁ°¡¼ÓÈÇбâ»ó ÁõÂø±â (PE-CVD)
¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ (SCS-5000)
ÁõÂø ¹× ¿¡Äª
Àåºñ¸í Àú¾ÐÈÇÐÁõÂø±â (LP-CVD System)
¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ (LCS-5000)
ÁõÂø ¹× ¿¡Äª
Àåºñ¸í DC/RF ½ºÆÛÅÍ ½Ã½ºÅÛ
¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ (RSP-5004)
ÁõÂø ¹× ¿¡Äª
Àåºñ¸í ¿/ÀüÀÚºö ÁõÂø±â ½Ã½ºÅÛ (Thermal/Electron Beam Evaporator)
¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ (MEP-5000)
ÁõÂø ¹× ¿¡Äª
Àåºñ¸í ÆÞ½º·¹ÀÌÀúÁõÂø½Ã½ºÅÛ
¸ðµ¨¸í ÄÚ¸®¾Æ¹ÙŨÅ×Å© (KVP-2000)
ÁõÂø ¹× ¿¡Äª
Àåºñ¸í °íÁÖÆÄÇöóÁ¹ÝÀÀ¼ºÀ̿½İ¢ÀåÄ¡ (ICP-RIE System)
¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ (IPS-5000)
ÁõÂø ¹× ¿¡Äª
Àåºñ¸í ±Þ¼Ó¿Ã³¸®ÀåÄ¡ (Rapid Thermal Annealing)
¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ (RTP-5000)
ÁõÂø ¹× ¿¡Äª
Àåºñ¸í ´Ù±â´ÉÇöóÁ󸮽ýºÅÛ (Advanced Plasma System)
¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ (ARS-5000)
ÁõÂø ¹× ¿¡Äª
Àåºñ¸í MOCVD
¸ðµ¨¸í MOCVD
ÁõÂø ¹× ¿¡Äª
Àåºñ¸í Atomic <x-layer Deposition System
¸ðµ¨¸í ¾ÆÀÌÀÌ¿¡½º (SAVER-IMP)
ÀμâÀüÀÚ
Àåºñ¸í Rench Top R2R System
¸ðµ¨¸í ¾ÆÀÌÀÌ¿¡½º (SAVER-IMP)
ÀμâÀüÀÚ
Àåºñ¸í Inkjet Circuit Printer
¸ðµ¨¸í Dimatix (DMP-2831)
ÀμâÀüÀÚ
Àåºñ¸í ELECTROSPRAY
¸ðµ¨¸í ³ª³ë¿£¾¾ (ESR200R2D)
±âŸ
Àåºñ¸í ¸¶ÀÌÅ©·Î¿þÀ̺êÇÕ¼ºÀåÄ¡
¸ðµ¨¸í ¿µÀΰúÇÐ (927060)
±âŸ
Àåºñ¸í Æ©ºêÇüÀü±â·Î
¸ðµ¨¸í ´ëÈï°úÇÐ (DTF-60300-12PTFS)
±âŸ
Àåºñ¸í ¾Ð·Â¿ë±â 4´ë
¸ðµ¨¸í ÀϽſÀÅäŬ·¹À̺ê (150ml Pressure Vessel)
±âŸ
Àåºñ¸í MINI VESSEL (High Pressure High Temperature Vessel)
¸ðµ¨¸í ÀϽſÀÅäŬ·¹À̺ê (BOLT CLOSURE TYPE)
±âŸ
Àåºñ¸í ÇÁ¸®Ã÷À¯¼ºÇüº¼¹Ð
¸ðµ¨¸í Ÿí°úÇÐ (PULVERISETTE6¿Ü)
±âŸ
Àåºñ¸í ³ª³ëºÐ»ê±â (NANO DISPERSER)
¸ðµ¨¸í ÀϽſÀÅäŬ·¹À̺ê (ISA-N-30A)
±âŸ
Àåºñ¸í ºÐ¼®¿ëÀú¿ï (XP Analytical Balances)
¸ðµ¨¸í BKÅ×Å©³î¸®Áö (XP105DR)
±âŸ
Àåºñ¸í Ãʼø¼öÁ¦Á¶ÀåÄ¡ (D.I. Water Purification)
¸ðµ¨¸í ¿µÈ°úÇÐ
±âŸ
Àåºñ¸í DISPENSER (³ª³ëºÐ»ê±â)
¸ðµ¨¸í ¾ÆÀ̳ؼ½º (730700¿Ü)
±âŸ
Àåºñ¸í ¿ÀÅäŬ·¹À̺ê
¸ðµ¨¸í ÀϽſÀÅäŬ·¹À̺ê (ISA-OAC-SS-300-20)
±âŸ
Àåºñ¸í HEATING MANTLE
¸ðµ¨¸í µ¿¼°úÇÐ (MS-DMS634)
Lithography
Àåºñ¸í ¸¶½ºÅ©¸®½ºÆÐÅʹ׽ýºÅÛ
¸ðµ¨¸í Nano Sys. Solutions (D-LIGHT DL-1000)
Lithography
Àåºñ¸í UV CROSSLINKER
¸ðµ¨¸í ÇÁ·ÎŸÁ¨ (BLX365)
Lithography
Àåºñ¸í ¸¶½ºÅ©¾ó¶óÀ̳Ê
¸ðµ¨¸í ¸¶ÀÌ´Ù½º½Ã½ºÅÛ (MDA-60MS)
Lithography
Àåºñ¸í Ashing System
¸ðµ¨¸í ¿¡½º¿£ÅØ
Lithography
Àåºñ¸í ¼öÁ¶Èĵå (Water Sink Hood)
¸ðµ¨¸í »ïÈï±â°è°ø»ç (CT-FH1800)
ÃøÁ¤
Àåºñ¸í ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ (Mini-SEM)
¸ðµ¨¸í ÄÚ¼À (CX-200TA¿Ü)
ÃøÁ¤
Àåºñ¸í ÀÚµ¿Ç¥¸éÀû ¹× °¡°øºÐ¼®±â (BET)
¸ðµ¨¸í Çѱ¹¿¡ÀÌÆ¼¾ÆÀÌ (AUTOSORB-IQ-MP)
ÃøÁ¤
Àåºñ¸í Àü±âÈÇкм®½Ã½ºÅÛ
¸ðµ¨¸í ¿¡ÀÌÆ¼ÇÁ·ÐƼ¾î (VMC-4)
ÃøÁ¤
Àåºñ¸í PH/ORP ÃøÁ¤±â
¸ðµ¨¸í µ¿¼°úÇÐ (CYBERSCAN PH1500)
ÃøÁ¤
Àåºñ¸í ALPHA-STEP
¸ðµ¨¸í KLA TEC (D-100)
ÃøÁ¤
Àåºñ¸í Picoammeter
¸ðµ¨¸í Picoammeter
ÃøÁ¤
Àåºñ¸í NanoVoltmeter
¸ðµ¨¸í NanoVoltmeter
½ÃÆíó¸®
Àåºñ¸í À̱¸ÀÚµ¿¿¬¸¶±â (Twin Auto Polisher)
¸ðµ¨¸í R&B
½ÃÆíó¸®
Àåºñ¸í Vacuum Oven
¸ðµ¨¸í ´ëÈï°úÇÐ (DVO-64-N)
½ÃÆíó¸®
Àåºñ¸í ¾Æ³¯·Î±×ÃÊÀ½ÆÄ¼¼Ã´±â
¸ðµ¨¸í ´ëÇÑÀÌÈÇÐ (WUC-A03H)
½ÃÆíó¸®
Àåºñ¸í Á¤¹ÐÇ׿¼öÁ¶
¸ðµ¨¸í ´ëÇÑÀÌÈÇÐ (WB-22)
½ÃÆíó¸®
Àåºñ¸í Drying Oven
¸ðµ¨¸í ¼¼Á¾Ç÷¯½º (125L)
½ÃÆíó¸®
Àåºñ¸í ¿ø½ÉºÐ¸®±â
¸ðµ¨¸í ºñÀü·¦»çÀ̾𽺠(MEGA17R)
½ÃÆíó¸®
Àåºñ¸í ±Û·Îºê¹Ú½º
¸ðµ¨¸í °í·Á±â¿¬ (KK-021-AS)
½ÃÆíó¸®
Àåºñ¸í ´ë±â¾ÐÇöóÁ¹ß»ýÀåÄ¡
¸ðµ¨¸í ÆèÅä»çÀ̾𽺠(PLAMI-ALPHA)
½ÃÆíó¸®
Àåºñ¸í Ultrasonic Cleaner
¸ðµ¨¸í ´ëÀÏÅ×Å©
½ÃÆíó¸®
Àåºñ¸í ¾×»óÈÇÐÀÛ¾÷´ë (WET STATION)
¸ðµ¨¸í ¾¾¿£¿¡½º¿£Áö´Ï¾î¸µ (CSWT-M61)
½ÃÆíó¸®
Àåºñ¸í ¼öÁ¶Èĵå (Water Sink Hood)
¸ðµ¨¸í »ïÈï±â°è°ø»ç (CT-FH1800)
½ÃÆíó¸®
Àåºñ¸í Hot Plate & Stirrer 4´ë
¸ðµ¨¸í µ¿¼°úÇÐ (MSH-30D)
½ÃÆíó¸®
Àåºñ¸í PELCO VACUUM PICK-UP SYSTEM
¸ðµ¨¸í ÇÁ·ÎŸÁ¨ (5201220)
½ÃÆíó¸®
Àåºñ¸í VACUUM DESSICATOR
¸ðµ¨¸í ÇÁ·ÎŸÁ¨ (DC1030210)