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연구

공동연구시설

나노공정실

나노공정실에서는 증착 및 에칭 시스템, 인쇄전자 시스템, Lithography, 측정시스템, 시편처리시스템 등 총 60여종의 최첨단 장비를 갖추고 있습니다. 앞으로 글로벌융합기술원 나노공정실에서 제공해 드릴 최첨단 장비를 이용한 서비스를 보다 많은 분들이 손쉽고 충분히 활용할 수 있기를 기대합니다. 감사합니다.

증착 및 에칭

장비명 플라즈마가속화학기상 증착기 (PE-CVD)

모델명 에스엔텍 (SCS-5000)

증착 및 에칭

장비명 저압화학증착기 (LP-CVD System)

모델명 에스엔텍 (LCS-5000)

증착 및 에칭

장비명 DC/RF 스퍼터 시스템

모델명 에스엔텍 (RSP-5004)

증착 및 에칭

장비명 열/전자빔 증착기 시스템 (Thermal/Electron Beam Evaporator)

모델명 에스엔텍 (MEP-5000)

증착 및 에칭

장비명 펄스레이저증착시스템

모델명 코리아바큠테크 (KVP-2000)

증착 및 에칭

장비명 고주파플라즈마반응성이온식각장치 (ICP-RIE System)

모델명 에스엔텍 (IPS-5000)

증착 및 에칭

장비명 급속열처리장치 (Rapid Thermal Annealing)

모델명 에스엔텍 (RTP-5000)

증착 및 에칭

장비명 다기능플라즈마처리시스템 (Advanced Plasma System)

모델명 에스엔텍 (ARS-5000)

증착 및 에칭

장비명 MOCVD

모델명 MOCVD

증착 및 에칭

장비명 Atomic <x-layer Deposition System

모델명 아이이에스 (SAVER-IMP)

인쇄전자

장비명 Rench Top R2R System

모델명 아이이에스 (SAVER-IMP)

인쇄전자

장비명 Inkjet Circuit Printer

모델명 Dimatix (DMP-2831)

인쇄전자

장비명 ELECTROSPRAY

모델명 나노엔씨 (ESR200R2D)

기타

장비명 마이크로웨이브합성장치

모델명 영인과학 (927060)

기타

장비명 튜브형전기로

모델명 대흥과학 (DTF-60300-12PTFS)

기타

장비명 압력용기 4대

모델명 일신오토클레이브 (150ml Pressure Vessel)

기타

장비명 MINI VESSEL (High Pressure High Temperature Vessel)

모델명 일신오토클레이브 (BOLT CLOSURE TYPE)

기타

장비명 프리츠유성형볼밀

모델명 태명과학 (PULVERISETTE6외)

기타

장비명 나노분산기 (NANO DISPERSER)

모델명 일신오토클레이브 (ISA-N-30A)

기타

장비명 분석용저울 (XP Analytical Balances)

모델명 BK테크놀리지 (XP105DR)

기타

장비명 초순수제조장치 (D.I. Water Purification)

모델명 영화과학

기타

장비명 DISPENSER (나노분산기)

모델명 아이넥서스 (730700외)

기타

장비명 오토클레이브

모델명 일신오토클레이브 (ISA-OAC-SS-300-20)

기타

장비명 HEATING MANTLE

모델명 동서과학 (MS-DMS634)

Lithography

장비명 마스크리스패터닝시스템

모델명 Nano Sys. Solutions (D-LIGHT DL-1000)

Lithography

장비명 UV CROSSLINKER

모델명 프로타젠 (BLX365)

Lithography

장비명 마스크얼라이너

모델명 마이다스시스템 (MDA-60MS)

Lithography

장비명 Ashing System

모델명 에스엔텍

Lithography

장비명 수조후드 (Water Sink Hood)

모델명 삼흥기계공사 (CT-FH1800)

측정

장비명 주사전자현미경 (Mini-SEM)

모델명 코셈 (CX-200TA외)

측정

장비명 자동표면적 및 가공분석기 (BET)

모델명 한국에이티아이 (AUTOSORB-IQ-MP)

측정

장비명 전기화학분석시스템

모델명 에이티프론티어 (VMC-4)

측정

장비명 PH/ORP 측정기

모델명 동서과학 (CYBERSCAN PH1500)

측정

장비명 ALPHA-STEP

모델명 KLA TEC (D-100)

측정

장비명 Picoammeter

모델명 Picoammeter

측정

장비명 NanoVoltmeter

모델명 NanoVoltmeter

시편처리

장비명 이구자동연마기 (Twin Auto Polisher)

모델명 R&B

시편처리

장비명 Vacuum Oven

모델명 대흥과학 (DVO-64-N)

시편처리

장비명 아날로그초음파세척기

모델명 대한이화학 (WUC-A03H)

시편처리

장비명 정밀항온수조

모델명 대한이화학 (WB-22)

시편처리

장비명 Drying Oven

모델명 세종플러스 (125L)

시편처리

장비명 원심분리기

모델명 비전랩사이언스 (MEGA17R)

시편처리

장비명 글로브박스

모델명 고려기연 (KK-021-AS)

시편처리

장비명 대기압플라즈마발생장치

모델명 펨토사이언스 (PLAMI-ALPHA)

시편처리

장비명 Ultrasonic Cleaner

모델명 대일테크

시편처리

장비명 액상화학작업대 (WET STATION)

모델명 씨엔에스엔지니어링 (CSWT-M61)

시편처리

장비명 수조후드 (Water Sink Hood)

모델명 삼흥기계공사 (CT-FH1800)

시편처리

장비명 Hot Plate & Stirrer 4대

모델명 동서과학 (MSH-30D)

시편처리

장비명 PELCO VACUUM PICK-UP SYSTEM

모델명 프로타젠 (5201220)

시편처리

장비명 VACUUM DESSICATOR

모델명 프로타젠 (DC1030210)